corner rounding半導體
2020年4月12日—②将STIetch造成的etch尖角给于圆化(cornerrounding)。圆化,角度尺寸大小.要注意SiN的remain及HDPoxide的loss.这里的SACoxide是在SiN ...,2019年6月14日—OPCMask:上面讲的是普通光罩，但是实际情况是光有近似效应(OpticalProximityeffect)，在转角会变...
...ofsiliconprocessstep,e.g.trenchcornerroundingbyLOCOS.HELECTRICITY.H01ELECTRICELEMENTS.H01LSEMICONDUCTORDEVICESNOTCOVEREDBYCLASSH10.
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