corner rounding半導體
...半导体衬底的光刻胶层上，缩小了由于矩形线条交叉造成的圆角现象(cornerroundingeffect)导致的线条尺寸不均匀。附图说明.图1A是原始布局图形；.图1B是对原始布局 ...,②将STIetch造成的etch尖角给于圆化(cornerrounding)。19.一般的阱区离子注入调整电性可分为那...
...ofsiliconprocessstep,e.g.trenchcornerroundingbyLOCOS.HELECTRICITY.H01ELECTRICELEMENTS.H01LSEMICONDUCTORDEVICESNOTCOVEREDBYCLASSH10.
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②将STI etch 造成的etch 尖角给于圆化( corner rounding)。 19.一般的阱区离子注入调整电性可分为那三道步骤? 功能为何？ 答：阱区离子注入调整是利用离子注入的方法 ...
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